三致（上海）压缩机有限公司浅谈螺杆式真空泵的用途有哪些？

一、半导体与电子行业

用于芯片制造的光刻、刻蚀、晶圆镀膜等工艺，提供无油高真空环境，避免油蒸汽污染晶圆，保障芯片制造的精度和良率，是半导体工厂的标配设备之一。

二、制药与医用行业

配套冻干机、溶剂回收设备，用于原料药真空干燥、溶媒回收等环节，能安全处理易燃、有毒的溶媒气体，无任何污染物产生，完全符合GMP药品生产无菌无尘的标准。

三、化工与环保行业

可抽取易燃易爆或腐蚀性气体，用于真空蒸馏、储油库油气回收、VOCs废气处理等工况，油气回收率高，既能降低物料损耗，又能助力企业达到环保排放标准，实现节能与环保双赢。

四、食品工业

用于真空包装、冷冻干燥、香料浓缩等工序，无油设计避免食品污染，满足食品加工的卫生规范，同时能快速建立真空环境，延长食品保质期。

五、其他拓展领域

还广泛应用于光伏、冶金、核工业及科研实验中的真空获得与气体输送，逐步替代传统油泵成为制造领域的主流真空设备。